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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號：H6-15
更新時間：2024-09-02簡要描述：美國Laurell ø300mm旋涂機 H6-15勞雷爾 H6-15?旋涂機 結構緊湊，功能先進，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。 這款 650 系列HL涂布機系統(tǒng)可容納直徑最的大為ø 300mm 的晶圓和 9“ × 9“ (229mm × 229mm) 的基板，最的大轉速為12,000 RPM（基于ø 100mm 硅晶圓）。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
美國Laurell ?300mm旋涂機 H6-15
勞雷爾 H6-15旋涂機 結構緊湊，功能先進，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。 這款 650 系列HL涂布機系統(tǒng)可容納直徑最的大為? 300mm 的晶圓和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板，最的大轉速為12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圓）。
封閉式碗狀設計，加上過程控制器的精確性，可使大多數(shù)涂層材料在靜止狀態(tài)下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導到系統(tǒng)后部，以防止化學品意外滴落到基材上。
美國Laurell ?300mm旋涂機 H6-15
勞雷爾 H6-15旋涂機 結構緊湊，功能先進，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。 這款 650 系列HL涂布機系統(tǒng)可容納直徑最的大為? 300mm 的晶圓和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板，最的大轉速為12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圓）。
封閉式碗狀設計，加上過程控制器的精確性，可使大多數(shù)涂層材料在靜止狀態(tài)下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導到系統(tǒng)后部，以防止化學品意外滴落到基材上。
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