nasgiken簡易微量金屬污染物回收裝置

更新時間：2025-07-26

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NASGiken的簡易微量金屬污染物回收裝置是一種專門用于半導(dǎo)體制造和納米技術(shù)領(lǐng)域中，從硅晶片表面和側(cè)面回收微量金屬污染物的設(shè)備。以下是關(guān)于該裝置的詳細介紹：

自動化操作：設(shè)備可以自動完成采樣液的供給、支架具的裝卸以及采樣液的回收，從而減少操作員引起的污染。
多種采樣模式：通過與計算機聯(lián)機，可選擇豐富多樣的采樣模式，包括圓環(huán)形、扇形、固定半徑、圓弧等，還能對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進行采樣操作。
適用性廣泛：對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
減少人為污染：采樣操作由設(shè)備自動完成，無需熟練工就可輕松完成采樣操作。
自動清洗功能：具備自動清洗盛裝收集液體的容器的功能，降低人為污染的風險，并減少工作人員之間分析準確性的差異。

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中，對硅晶片進行表面和側(cè)面的微量金屬污染物分析。適用于需要高精度和高效率分析的環(huán)境，如半導(dǎo)體制造廠、材料研究機構(gòu)等。

表格

設(shè)備名稱	SC-3100	SC-8150	SC-9100	SC-9200
操作控制	電腦	手動	自動	自動
支架具的裝/卸	自動	手動	自動	自動
采樣液的供給	自動	手動	自動	自動
采樣液的回收	自動	手動	自動	自動
采樣基本模式	圓環(huán)形、扇形、固定半徑、圓弧	-	-	-
采樣追加模式	端面、弧形、長方形	-	-	-
晶圓排片	對圓環(huán)形、固定半徑、端面采樣模式有追加項	-	-	-
吸取式采樣	〇	-	〇	〇
親水面采樣	-	〇	〇	〇
外形尺寸(WxDxH)(mm)	600×494×600	600×494×700	600×494×790	690×550×790
重量	35Kg	40Kg	50Kg	55Kg
安裝環(huán)境	無塵通風柜內(nèi)	-	-	-
所需外部資源	電源(100～240VAC)、純凈水、干潔氣源	電源(100～240VAC)、N2、干潔氣源	電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源	電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源

NASGiken的簡易微量金屬污染物回收裝置以其高效的污染物收集能力、自動化操作和技術(shù)，為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域提供了一種創(chuàng)新的解決方案。

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